電子顕微鏡および光学顕微鏡の精度は、種類や設計によって以下のように異なります。
電子顕微鏡の精度
透過型電子顕微鏡（TEM）：現在、透過型電子顕微鏡の分解能は0.2μm以下の構造を解像できるレベルに達しており、極限分解能は0.1nmにまで達します。例えば、高性能な透過型電子顕微鏡の中には、1.5～2Å（1Å＝0.1nm）の分解能を持ち、ほぼすべての原子を解像できるものもあります。
走査型電子顕微鏡（SEM）：空間分解能は通常1μm³程度ですが、精度は装置の種類や観察条件によって異なる場合があります。
光学顕微鏡の精度
一般的な光学顕微鏡の限界解像度は通常約250nmで、これは人間の目の解像度（0.25mm）の100万倍に相当します。しかし、高精度レンズや光学技術を用いることで、光学顕微鏡の解像度と倍率を大幅に向上させることができます。
高精度光学顕微鏡：例えば、光学デジタル顕微鏡は、分解能精度が0.1μmに達し、倍率は最大5000倍です。さらに、白色光干渉の原理に基づいた高精度分析装置、例えば三次元光学顕微鏡などもあり、サブナノメートル分解能で表面形状測定が可能です。
特殊な光学顕微鏡、例えばMINFLUX技術のような2nmの位置決め精度を持つ光学ナノスコピーなどは、ナノスケール解像度の顕微鏡が正式に生命科学研究の分野に参入したことを示しています。
投稿日時：2025年11月1日